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真空装置、机器
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真空装置、机器
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案例详情
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华尔卡 产品编号 |
产品名称/ 内 容 |
用 途 | 尺寸・形状 |
| （3DU） |
动态波纹管汽缸 使用 M 系列动态波纹管作为驱动部密封，是活塞杆密封的清洁性、耐腐蚀性、耐久性优秀的汽缸。 |
用于各种半导体制造装置、各种液晶制造装置、其他真空装置等的腔内的驱动部。 | → 详情规格 |
| （3DU） |
洁净螺栓 对 JIS B1176 不锈钢内六角螺栓（A2 钢）施以特殊研磨处理的带气孔螺栓，气体排出量少，表面不会附着油脂。另外，由于表面光滑而不易发生咬死。同时还备有清洁规格的螺母、弹簧垫圈、平垫圈。 |
用于各种半导体制造装置、各种液晶制造装置、其他真空装置以及分析设备等，特别适用于真空领域（腔内）。 | → 详情规格 |
| • 登载的产品介绍引用2019年12月数据信息制作而成。如需要最新信息请进入咨询页面与我们联系。 |
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• 登载的使用温度、压力范围引用本公司测试数据及实际业绩制作而成，不包括任何假设条件。 关于不同用途时的使用性可进入咨询页面与我们联系。 • 登载的产品如发生性能提高等信息更新时，恕不另行通知。 |
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| ● 动态波纹管汽缸详细规格 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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标准行程 (单位：mm)
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| ● 洁净螺栓详细规格 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 标准尺寸 〔単位：mm〕 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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(1) M3×4，5，6，8，10 (2) M4×5，6，8，10，12，16，18，20，25 (3) M5×6，8，10，12，16，18，20，25 (4) M6×8，10，12，16，18，20，25，30 (5) M8×12，16，18，20，25，30 (6) M10×20，25，30 |
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